计量校准平晶
计量校准平晶是利用光学干涉原理实现平面度精密测量的基准器具。平晶作为平面度计量中的核心标准器,通过其与被测平面形成的空气楔产生牛顿环干涉条纹,可精准判定平面度偏差、平行度及微小角度误差。计量校准时,需采用一级或二级标准平晶(平面度达λ/10~λ/20),通过控制环境温度(20℃±1℃)和湿度(45%~75%),利用单色光源(如钠光589.3nm)照射平晶与被测面间的空气层,根据干涉条纹的形状、数量及分布计算平面度误差值。计量校准过程严格遵循JJG28-2000《平晶检定规程》,确保平面度量值溯源至国家长度基准,为光学元件、精密机械加工等领域提供高精度的平面度计量保障。
计量校准平晶是一种用于测量平面度、平行度的精密光学仪器,基于光波干涉原理,通过观察干涉条纹评估被测表面的精度。
主要类型及应用
1.平面平晶:用于检验量块、量规、零件密封面及仪器量面的平面度,例如测量精密平台、导轨等高精度平面的误差。
2.平行平晶:专门用于测量千分尺、杠杆千分尺等量具测量面的平面度及两相对测量面的平行度,常见于计量建标和精密检测。
3.长平晶:采用等倾角干涉法测量地面平面度,适用于地面工程或工业检测场景。
测量原理
平晶通过其测量面与被测表面形成干涉条纹,通过分析条纹形态确定平面度误差。例如,条纹弯曲或倾斜反映被测表面存在不平度,精度可达微米级甚至更高。
平晶是采用光学玻璃或石英为材料,利用光波干涉原理,使平晶的测量米娜与试件的被测量免之间所产生的干涉条纹来仪器校正测量被测量免的平面度、平行度等的实物量具。平晶分平面平晶、平行平晶和长平晶三种。
平面平晶用于检定量块的研合性和平面度以及仪器和量具的测量面、工作面的平面度。亦可用于检定高精度的平面零件,例如,平面光学零件、高级平台、平板、导轨、密封件等。平面平晶特别适用于计量单位、实验室作为标准平面和样板。
平行平晶用于检定千分尺、杠杆千分尺、杠杆卡规和千分尺卡规等量具测量面的平面度和两相对测量面的平行度。长平晶是以等倾干涉法检定研磨面平尺平面度的标准量具。



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