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仪器检定干涉法测量Rz长度参数
仪器检定干涉法测量Rz长度参数为高精度表面轮廓评定开辟可靠路径。该方法利用光的干涉原理捕捉微观形貌，结合仪器检定可确保光路、成像及数据采集系统处于最佳状态，使Rz测定结果具备溯源性与重复性。仪器检定不仅剔除系统偏差，还提升不同设备间数据的一致性，让复杂曲面的峰谷高度分析更精准。在精密制造与质检领域，此组合能严控零件配合精度，降低因测量误差导致的返工风险，为产品性能与品质提供坚实保障。
(1)确定取样长度干涉显微镜的视场范围各类型之间有所不同，一般为0.25mm或0.32mm。当被测表面Rz值≥0.025μm~0.5μm时，取样长度为0.08mm或0.25mm。仪器校正测量可在一个视场内测量；当Rz值≥0.5μm~0.8μm时，计量外校时，取样长度为0.8mm，需要移动工作台，在3个连续的视场里测量。仪器检定干涉法测量Rz长度参数在此类操作中尤为重要——通过仪器检定可确保干涉显微镜的光路、成像及位移系统处于受控状态，使不同取样长度下的测量保持精度一致与结果可溯源，从而为Rz评定的准确性与外校有效性提供坚实保障。
(2)确定评定长度评定长度应包含5个连续的取样长度，可视被测表面的情况测多于5个或少于5个取样长度。校准计量每一取样长度内测算出一个Rz值，外校检测仪器时再取平均值作为该评定长度内的Rz值。
本文由计量校准实验室推出。
