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光干涉仪器使用前的调整
光干涉仪器使用前的调整为后续精密测量奠定坚实基础。使用前需对光路、焦距、载物台水平及光源稳定性等进行细致调校，确保干涉条纹清晰、成像对称，为准确捕捉微观形貌提供保障。在此过程中引入仪器检定，可依照规程核查关键部件性能与参数基准，及时消除系统偏差，使仪器处于合规可用状态。经检定调整后的光干涉仪器，能在表面粗糙度与轮廓分析中输出高一致性、可溯源的数据，显著提升检测可靠性与工作效率。
使用仪器校验检测前的调整
干涉显微镜调整的主要目的，是使目镜视场中呈现反映被测表面粗糙度的清晰干涉条纹，以便测量。光干涉仪器使用前的调整则是实现这一目标的关键步骤——需细致调校光路准直、光源强度与波长稳定性、物镜焦距及载物台水平度，确保干涉条纹边界分明、对比度适宜。此过程常结合仪器检定核验关键光学与机械参数，及时消除系统偏差，让仪器进入合规可用状态，从而为后续表面粗糙度与轮廓的高精度分析提供可靠保障。
各种类型的仪器使用调整不尽相同，详细参看相应的使用说明书．外校计量下面以常用的双光束干涉显微镜为例，介绍调整步骤：
(1)调节光源，使目镜视场照明均匀。调整目镜视度，使视场中分划板刻线清晰
(2)将被测表面置于物镜的上方。仪器校验用遮光板挡住参考镜一路的光束，对被测件表面调焦'直至视场中出现清晰的加工纹路的显微图像。
(3)将遮光板从参考光路中移开，视场中应出现干涉条纹。若不出现干涉条纹，一般是由于参考镜光路未调好'造成两路光的光程不相等，应对参考光路的物镜调焦。
(4)校正检测调整干涉条纹的方向，使其与被测表面加工纹路垂直，并调整干涉条纹的宽度以5mm——lOmm为宜
本文由计量仪器检定中心推出。
