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仪器检测平晶的主要项目和方法
仪器检测平晶的主要项目和方法是确保平面度量值精准的关键技术环节。平晶作为高精度平面基准器具，其平面度、平行度及表面光洁度等参数直接影响被测工件的检测精度。仪器检测时，主要项目包括平面度偏差（通常要求达到λ/10～λ/20）、表面粗糙度（Ra≤0.05μm）及平行度误差等核心指标。检测方法采用牛顿环干涉法，通过单色光源（如钠光灯589.3nm）照射平晶与被测平面间的空气楔，根据干涉条纹的形态、数量及分布计算平面度误差；同时使用表面粗糙度仪和角度仪辅助检测表面质量与平行特性，确保检测数据溯源至国家平面度基准，为精密加工和光学元件提供可靠计量保障。
平面平晶的检测项目主要包括平面度和研合性检验，检测方法以干涉条纹分析为主。
检测方法
1.干涉条纹法
将平晶置于平面等厚干涉仪工作台上，调整干涉条纹至3或5条，通过标准平晶比对检定。直径≥150mm的1级平晶需用等倾干涉仪与1等标准平晶比对，2级平晶可用2等标准平晶。
2.同心圆条纹判定
检测时需观察整个被测面是否呈现同心圆条纹，且条纹数量需满足精度要求：
1级精度：条纹数≤3个/整个面（对应平面度≤0.8μm）
2级精度：允许≤5个条纹（对应平面度≤1.6μm）
3.环境要求
检测需在20±5℃、湿度≤80%RH环境下进行，避免温度波动影响测量精度。
仪器检测工作平面平晶分成1级和2级。不同规格和级别其平面度要求见JJG28-2000《平晶检定规程》中的计量性能要求。
仪器校准平晶比较法
直径为30-150mm的1级、2级平面平晶用带标准平晶的平面等厚干涉仪直接检定；直径为30-100mm的1级、2级平面平晶也可用2等标准平晶比较检定；平面度的检定应在任意相互垂直的两个截面上进行。
直径为150mm的1级平面平晶用平面等倾干涉仪与1等标准平晶比较检定；直径为150mm的2级平面平晶用平面等倾干涉仪与2等标准平晶比较检定。
计量检测时，将被检平面平晶置于平面等厚干涉仪工作台上，调整干涉条纹的调整，使被检区域出现3或5条干涉条纹。当采用2等标准平晶比较检定时，将平面平晶与标准平晶相互研合，使被检区域出现3或5条干涉条纹。
