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仪器检定棱体主要项目的方法
仪器检定棱体主要项目的方法是确保角度量值精准统一的关键技术环节。棱体作为高精度角度测量的基准器具，其工作角偏差、平面度及研合性等指标直接影响角度量仪的校准精度。仪器检定时，主要项目包括工作角（常用90°、120°等）的实际值与标称值偏差、测量面平面度（通常要求≤0.5μm）及相邻工作面垂直度等核心参数。检定方法采用小角度测量仪、自准直仪与多齿分度台等标准设备，通过比较测量法将待检棱体与国家基准棱体进行比对，系统分析角度误差与面形偏差，并在不同环境温湿度下进行稳定性验证，确保棱体量值严格溯源至国家几何量基准，为角度测量仪器提供精准可靠的校准依据。
仪器检定棱体的主要项目包括工作面平面度、工作角偏差等，具体检定方法根据棱体等级不同有所差异：
工作面平面度检定
二等棱体：采用平面等厚干涉仪逐面检定，将被检棱体置于仪器工作台上，调整干涉条纹方向和宽度至清晰显示。
三等、四等棱体：使用多齿分度台和自准直仪，通过排列互比法或直接测量法检定。
工作角偏差检定
二等棱体：采用0级多齿分度台和分度值≤0.2"的自准直仪，通过排列互比法检定。
三等棱体：在多齿分度台的0°、120°、240°三个位置直接测量，取算术平均值作为结果。
四等棱体：在多齿分度台的0°位置直接测量，安装调整与高精度标准棱体一致。
不同等级棱体的平面度、垂直度等指标存在差异，例如二等棱体工作面平面度≤0.03μm，基准面平面度≤1μm；四等棱体工作面平面度≤0.1μm，基准面平面度≤1.5μm。
1.工作面平面度
仪器检定棱体工作面的平面度采用平面等厚干涉仪逐面进行检定。检定时，将被检棱体放在仪器工作台上，调整工作台手轮，使干涉仪视场中出现清晰的干涉条纹。调整干涉条纹的方向和宽度，
2.工作角偏差
（1）二等角棱体工作角偏差的检定
仪器校正二等棱体采用0级多齿分度台和分值不大于0.2"的自准直仪，以排列互比法检定。检定时棱体的安装、自准直仪的调整、排列互比法检定的程序和数据处理与多齿分度台分度误差的检定。
（2）三等棱体工作角偏差的检定
三等棱体采用0级多齿分度台和分度值不大于0.2"的自准直仪，在多齿分度台上已0°、120°、240°三个为起始位置直接测量，取3个位置测量的算术平均值作为检定结果。
（3）四等棱体工作角偏差的检定
仪器外校四等棱体采用1级多齿分度台和分度值不大于0.2"的自准直仪，在多齿分度台上已0°为起始位置直接测量。检定时的安装调整同上。
本文由计量仪器检定中心推出。
