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圆度仪超精密微动台法
圆度仪超精密微动台法是实现超高精度圆度测量的关键技术。该方法通过微动台精确调整被测工件的空间位置，配合圆度仪高灵敏度传感器系统，实现对微米级甚至纳米级圆度误差的精密检测，广泛应用于轴承、光学元件等高端精密零件的形位公差测量。计量检测时，利用微动台对工件进行纳米级位移补偿，消除安装偏心与初始姿态误差，再通过圆度仪采集多截面轮廓数据，经滤波与算法处理提取真实圆度误差。该技术结合精密计量检测流程，严格控温（20℃±0.1℃）并隔绝振动干扰，有效提升测量重复性与分辨率，为超精密制造领域的几何精度评定提供亚微米级乃至纳米级的可靠技术支撑。
圆度仪的超精密微动台法是一种高精度校准方法，通过超精密微动台产生微小位移，结合纳米级传感器进行校准。以下是具体方法要点：
操作步骤
设备准备
使用超精密微动台作为标准装置，其示值误差需≤0.006μm，变动性≤0.004μm，灵敏阈≤0.001μm。
将滤波器调至全通挡，测杆长度开关置于标准短测杆位置。
校准接触
圆度仪的传感器测头与微动台的工作面接触，通过驱动微动台产生位移（最小2nm），观察传感器指示值变化。
重复5次测量，取平均值作为校准结果。
误差计算
计算公式：△示值 = (测得值 - 标准值) × 100%
需逐挡增加放大倍数至高倍数挡进行校准。
技术要求
该方法适用于一级精度圆度仪的检定，其他等级可选择性使用。
校准过程中需确保传感器与微动台轴线重合，避免测量偏差。
此方法通过高精度位移基准和纳米级传感器，实现圆度仪的微量校准，适用于精密制造领域的高标准检测需求。
a)采用超精密微动台进行检定时，滤波器旋钮置全通挡，测杆长度开关杆位置。计量校正测头与超精密微动台上的垂直工作面接触时，校正仪器使传感器指示值指零附。
b)按式计算示值误差△示值。△示值=测得值一标准值×100%
外校测量标准值式中：测得值——仪器示值；标准值——由纳米分辨力传感器给出的数值。
c)用同样方法检定其他规定挡的示值误差。取各挡示值误差中绝对值最定结果。
