做中国更具影响力的第三方计量检测机构
同样是技术，我们更创新；同样是质量，我们更可靠;
同样是服务，我们更专业；同样是微笑，我们更真诚!
光切显微镜的仪器检测定度方法
光切显微镜的仪器检测定度方法是确保表面微观几何参数测量精准的关键技术。该仪器通过"光切法"原理，利用狭缝光源与显微镜系统的光学干涉效应，精确测量工件表面微观不平度的深度和轮廓。计量校准时，需采用标准刻线样板或已知粗糙度样块，通过对比仪器测量值与标准值，对光切显微镜的放大倍率、分辨率及测量精度进行系统校准与修正，确保量值溯源至国家基准。严格的计量校准流程可有效消除光学系统畸变、机械位移误差等因素影响，为精密零部件的表面质量检测提供科学可靠的定量分析依据。
光切显微镜的仪器检测定度方法主要通过标准刻线尺进行校准，不同放大倍率需分别测定。以下是具体步骤：
0.01mm线纹尺校准法
1.放置标尺：将0.01mm线纹尺置于工作台，调节仪器使刻线清晰成像于视场中央，并确保刻线与光带垂直。
2.调整十字线：转动测微目镜鼓轮，使分划板十字线交点与光带平行。
3.读数测量：移动十字线对准标尺刻线，记录三次测量结果的平均值L平均。
4.计算格值：根据公式 C=(m×z/L平均)×100 (μm) 计算测微鼓轮分度值，其中m为标尺分度数，z为标尺分度值0.01mm。
十字线交点法
1.对准刻线：调整标尺位置至视野中央，移动工作台使十字线交点与第二条长刻线对齐。
2.读数计算：记录鼓轮读数（如N1、N2），通过公式 C=10×(N2-N1) 计算标尺距离（m）。
3.格值推导：结合光学系统放大倍数和测微鼓轮格数，最终确定格值（μm/格）。
两种方法均需确保仪器状态稳定，避免测量误差。
对应于不同放大倍率的各对物镜，每台光切显微镜际放大倍率需用仪器附带的0.01mm线纹尺来测定，即确定不同放大倍率时，测微目镜鼓轮计量校准的分度将0.01mm线纹尺置于平工作台上，调节仪器使线纹尺刻线清晰地成像在视场中央，并使刻线与光带垂直，再将测微目镜分划板中十字线交点的移动方向调节至与光带平行。转动测微目镜鼓轮仪器外校使十字线交点对准纹尺某一刻线，取三次测量结果的平均值为L平均o由式
（1）计算测微鼓轮的刻度值：c=（m*z/L平均）*100（um）
（1）式中：m——线纹尺所选线段包含的分度数；z ：——线纹尺的分度值0.01mm
本文由工具显微镜校验中心发表。
