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光切显微镜校准计量校准技术
光切显微镜校准计量校准技术是确保其表面粗糙度测量结果准确的核心环节。该校准需使用已知粗糙度参数的标准样板，通过比对仪器示值与标准值，系统计量校准其垂直放大率、水平放大率及评定基准线的准确性。规范的计量校准能有效修正光学系统畸变与探测器响应非线性引起的误差，因此，掌握光切显微镜校准计量校准技术并定期执行，是保障其在精密制造、材料科学等领域表面质量评价数据可靠的技术基础。
在表面粗糙度与微观形貌的精密测量领域，光切显微镜（或称光切割显微镜）凭借其非接触、立体视觉的优点被广泛应用。为确保其测量结果的溯源性，必须执行严谨的光切显微镜校准计量校准技术。该技术的核心是使用标准刻线尺或阶梯高度标准块，对仪器的重要参数进行校准：主要包括物镜的放大倍率误差、测量目镜的鼓轮示值误差，以及整个光学系统的垂直方向（Z轴）测量准确度，从而确保其能将光带弯曲量精确转换为微观高度差。
光切显微镜校准计量检测
测微目镜的视场及示值误差测微目镜视场：测微鼓轮指示零位时，测微目镜分划板的毫米刻线应套在双刻线指标内。
在仪器工作台上放置分度值为0.01mm的线纹尺，更换4组不同放大倍数的物镜时，调整微镜调焦机构，在仪器检测目镜视场中狭缝像和线纹尺像应能同时调节清晰，并处于视场中央，其清晰度应不小于6 0%视场范围。
线纹尺像应平行且对称，不应有明显偏斜或呈扇形测微目镜示值误差：将测微目镜从仪器上取下，旋出目镜头，安装在万能工具显微镜的工作台上，调整测微目镜的位置，使测微目镜十字线交点的运动方向与万能工具显微镜纵向行程平行。固定仪器校正测微目镜。
将测微目镜对准零位，用万能工具显微镜中的分划板米字线测微目镜的十字线交点，记下万能工具显微镜的纵向读数。然后分别转动测微目镜鼓轮刻度至1.2、3、4、4. 25、4.5、4.75.5、6、7和8周，并依次记下万能工具显微纵向读数。
仪器校准应在测微目镜鼓轮正反行程进行。在相应正反行程内，所得读数的最大值和最小值之差，即为测微目镜的示值误差。在任意一周内的示值误差不超过0.001，在全量程内示值误差不超过0.01mm。
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