尘埃粒子计数器计量校准装置功能
尘埃粒子计数器计量校准装置功能有为保障洁净环境中悬浮颗粒检测数据准确可靠的核心作用。计量校准该装置时,需通过标准粒子发生器产生特定粒径(如0.1μm、0.3μm、0.5μm)的均匀气溶胶,验证计数器在不同浓度区间(100~10⁵颗/m³)的颗粒分辨能力与计数效率;计量校准过程重点检测采样流量精度(偏差≤±1%)、粒径分级准确性(误差≤±0.1μm)及重复性(≤±2%),同时评估传感器响应时间与零计数水平(≤1颗/5min);通过多参数计量校准,确保尘埃粒子计数器在半导体车间、生物实验室等洁净场所的颗粒监测符合ISO 14644标准要求,为环境洁净度分级提供科学依据。
1.发生浓度可调的、稳定的悬浮标准粒子气体;尘埃粒子计数器计量校准装置功能正是基于这一核心能力,通过精准生成特定粒径(如0.1μm、0.3μm、0.5μm)且浓度可控(100~10⁵颗/m³)的气溶胶环境,实现对尘埃粒子计数器采样流量精度(偏差≤±1%)、粒径分级准确性(误差≤±0.1μm)及颗粒分辨能力的系统性验证,确保仪器在半导体车间、生物实验室等洁净场景中的颗粒监测数据符合ISO 14644标准要求;
2.形成一个超净的洁净环境,防治标准粒子在加注过程和发生时被污染;
3.可用于尘埃粒子计数器计量校准;
4.可用于各种气溶胶的发生。



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