刻度尺示值误差激光干涉校准
刻度尺示值误差激光干涉校准是确保其长度量值准确、可溯源至国家基准的高精度方法。校准时,将刻度尺固定于干涉仪测量光路中,利用激光波长作为自然长度标准,通过比对尺上刻线的实际位置与干涉条纹计数对应的理论长度,系统仪器校正其全量程的刻度间距误差与累积误差。规范的仪器校正能有效修正因材料、工艺或温度引起的尺寸漂移,因此,采用刻度尺示值误差激光干涉校准并定期执行,是保障其在精密工程与计量中作为长度标准可靠性的基石。
在精密长度计量领域,高精度刻度尺(如光栅尺、金属刻线尺)的示值准确性是确保测量设备精度的基础。采用刻度尺示值误差激光干涉校准是目前最先进和精确的方法之一。其过程是将激光干涉仪的光路与刻度尺安装在同一基准线上,当读数装置沿刻度尺移动时,激光干涉仪会提供一个更精确的长度基准,通过比较刻度尺的示值与激光干涉仪的测量值,即可获得刻度尺在全长范围内各点的示值误差,从而实现高精度的量值溯源与修正。
计量检测采用激光干涉仪器校准是,将激光干涉仪、干涉镜、反射镜图所示按照。外校计量调整尾座上的反射镜与双频激光干涉仪在同一直线上,尾座在测长测量范围内移动时,激光干涉仪应能不中断显示读数。
将尾座移至分米刻度尺的零刻度线处,微动测量座照准零位双刻线。将空气温度、被校准仪器温度、气压、湿度等参数输入激光干涉仪系统中,数显清零移动尾座至1dm处(即100mm处),再次仪器校正微动测量座对准1 dm的双刻线,
此时由激光干涉仪读出ldm处的读数值a按此方法依次对200mm、300mm、……等各受校准位置进行测量,分别得到各校准点的读数值吼。尾管移至末端后返回零位,回零误差应小于(1+L/2000) um,L为校准点标称值位mm。在测量校准过程中测量座应不少于2次瞄准,取2次读数的平均值为读数值。



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