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纳米力学测试系统校准装置的稳定性
纳米力学测试系统校准装置的稳定性是确保其能够对纳米压痕仪、微拉伸台等微观力学测试设备进行精准量值传递的核心性能指标。该稳定性意味着装置自身在长期使用中，其施加的微牛顿力、纳米位移等关键参量能够保持极低的漂移率与优异的重复性。维持这种高稳定性的核心手段，是定期使用更高等级的标准器对装置进行精密的仪器校正，以监测并修正其内部传感器和执行机构的潜在误差。因此，纳米力学测试系统校准装置的稳定性不仅是其技术先进性的体现，更是通过持续、严谨的仪器校正来保障微观力学测量结果准确、可比，并最终服务于新材料研发与微器件制造质量控制的基石。
校准纳米力学测试系统压头的位移，要求仪器校准装置本身具有很高的稳定性。为了验证该装置的稳定性，我们进行了零位移测量实验。所谓零位移测量实验，就是让测量干涉系统与参考干涉系统的测量光束在同一块反射镜上反射，这样干涉仪所测量的位移名义值为零。
此时干涉仪的测量结果可作为对干涉仪自身稳定性的一种评价。用该装置进行零位移测量实验的结果。在150分测量时间内，尽管单个干涉系统的测量数据漂移很大，测量干涉系统读数的峰谷值和标准偏差分别为77.4nm和16.6nm,两个干涉系统测量结果的差值却非常稳定，其峰谷值和标准偏差仅为2.7nm和06nm。由此可以看出，采用平衡式光学系统设计可以有效地提高干涉校准装置的稳定性，该系统有能力完成纳米级准确度的位移测量。
本文出自深圳仪器校准中心。
