标准用厚度片(简称校准片)的厚度测量结果不确定度和均匀性见表8 -19。
用仪器校准数显电感式测微仪(选择1N测力的测头)和三等量块,在平面工作台上用直接法或比较法测量先使数显电感式测微仪对零,再将被测的校准用厚度片放在平面工作台上,在规定的测量区域内均匀分布五或九个点(如图8-43所示)测量仪器校正,取中心点五次示值的平均值作为,仪器外校校准片的实际厚度值,取各点示值与实际厚度值的最大差值作为校准片的均匀性。
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