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激光干涉仪的校正调整
激光干涉仪的校正调整为确保高精度长度与角度测量的关键环节。作为精密位移测量的核心仪器，激光干涉仪通过激光波长基准实现纳米级分辨率，广泛应用于数控机床、三坐标测量机等设备的几何精度检测。仪器校正时，需利用标准光学镜组或高精度位移发生器，通过对比实测值与理论位移量，系统调整其光路准直性、计数器精度及环境补偿参数，重点校正测长误差、阿贝误差及余弦误差等关键指标。校正调整过程严格控温（20℃±0.1℃）并隔绝振动干扰，确保测量数据溯源至国家长度基准。专业的仪器校正不仅能消除仪器自身系统误差，更为高端装备制造提供稳定可靠的几何量值传递保障。
将激光干涉仪导轨调整成一水平直线；计量校正测量光路与导轨平行，并将分度值为0.001mm的显微镜调整至与测量光路垂直。在工作台上，3等线纹尺沿与导轨平行的方向支承在“白塞尔“支点上，其刻线面呈水平调整工作台，使仪器外校线纹尺的刻线在显微镜视场中成像清晰，首末端的尺边位于显微镜视场中央。
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