触针式仪器校正及校验

触针式仪器校正及校验

触针式仪器的仪器校正，是针对轮廓仪、粗糙度仪等以触针为传感元件的精密设备，确保其测量精度的关键活动。仪器校正需依据国家规程，通过标准样板（如台阶高度、粗糙度标准样块）对仪器的垂直放大比、水平放大比、触针半径及测力等关键参数进行标定与验证。规范的仪器校正可修正系统误差，确保仪器在测量工件表面轮廓、粗糙度等微观几何参数时，数据准确、重复性好，为精密制造、模具检测等领域提供可靠的测量保障。

触针式仪器校正及校验是保障表面粗糙度、轮廓形状等微纳尺度测量精度的关键环节。具体阐述“触针式仪器校正及校验”，这类仪器广泛应用于机械加工、半导体制造等领域，其测量结果直接影响产品质量控制。仪器检测过程中，通过标准样块对触针式轮廓仪、粗糙度仪的位移传感器、放大倍数及采样精度进行系统性校正与校验，确保仪器示值误差、重复性等核心参数符合技术规范。定期仪器检测与规范校验不仅能及时发现仪器漂移或磨损导致的测量偏差，更为精密制造提供准确可靠的量值溯源保障。

触针式仪器（如表面粗糙度测量仪）的校正与校验需遵循严格规范，以确保测量精度。以下是关键要点：

校准规范依据

主要依据JJF1105-2018《触针式表面粗糙度测量仪校准规范》，该规范明确要求环境温度稳定在（20±3）℃，湿度≤65%RH，并需预热30分钟以上。 ‌

一、校准项目

‌1.示值误差‌：测量值与标准样板（如多刻线样板）的偏差需符合±5%~15%行业标准。

‌2.重复性‌：同一工件多次测量结果的一致性，需≤3%~12%。

‌3.稳定性‌：4小时连续测量中最大偏差不超过0.005Ra/μm。 ‌

二、核心参数校准方法

‌针尖参数‌：针尖半径需在（2±0.5μm）范围内，圆锥角需满足55°~70°。

‌滑行轨迹‌：直线度误差不超过0.4μm/20mm行程。 ‌

三、环境与设备要求

校准环境需防尘、防震，并具备温湿度控制。

使用标准量块（如三等量块）进行尺寸校准，确保基准精度。 ‌

四、校准周期

首次校准后，后续周期根据仪器稳定性、使用频率及测量结果波动情况调整，通常建议每年至少校准一次。 ‌

1、触针位置的调整

在开始检测仪器前，触针应处于电桥输出的零位附件。对于有表示触针位置的仪器，将触针与被测表面接触，调整仪器，使指示信号在零位附近。对于没有表示触针位置的仪器，将触针与被测表面接触，把测杆调到水平状态即可。

2、灵敏度校验

此项校验仅适用于带记录器的仪器校验，以检查记录器的垂直放大倍率。有的仪器在灵敏度校验前，需作传感器平衡和相位校验，应按仪器使用说明书进行。

3、粗糙度参数示值校验

常用的方法是利用仪器校验样板，将仪器的测量值与样板的检定值比较，通过人工调节使二者的数值尽可能接近。

4、触针针尖的检查

触针使用不当会使针尖断裂或加剧磨损，因此要适时予以检查，特别是在测量中发现异常现象时。利用400倍以上显微镜或投影仪，观察触针尖端，必要时测定针尖半径或平头宽度，其尺寸应和规定的针尖半径相当。

本文由仪器校准实验室发布．