(1)计数不准确引起的不确定度
主要是光电显儆镜的对线重复性、光电显微镜装调不完善。
(2)激光波长引起的不确定度
仪器校验激光波长值的测量不确定度,激光频率稳定度以及波长值的复现性。
(3)空气折射率修正量的不确定度
( Edlen)、p、f,测量引起的不确定度;t、p、f不均匀性及波动引起的不确定度;爱艾德伦(Edlen)经验公式的不确定度。
(4)湿度修正量的不确定度
线膨胀系数的不确定度, 线纹尺温度计量检测的测量不确定度,测量过程中尺温不均匀以及温度的波动等。
(5)仪器测量计量过程中,由于工作台运动,床身变形引起的干涉条纹的漂移。
本文由仪器检定中心推出。