标准技术是测试计量技术水平的最高表现形式
标准技术是衡量与体现测试计量技术发展水平的最高级形态与最终标尺。它不仅是一系列精确的数字和严谨的规范,更代表了一个国家或行业在特定领域内所能达到的、共识性的测量能力上限。这种能力,最终必须物化并体现在每一台精密设备、每一次严谨的仪器检测过程之中。从国际单位制(SI)的量子化定义,到具体产品的国家标准物质,标准的实现与传递,其最核心的落地环节就是高等级的仪器检测。因此,一个国家标准技术的先进程度,直接决定了其仪器检测所能达到的极限精度、可复现性与全球公信力,是支撑科技创新与高端制造不可或缺的基石。
大力发展基准、标准技术,是提升国家核心计量能力的关键。必须认识到,标准技术是测试计量技术水平的最高表现形式,它不仅是发展超精密制造不可或缺的前提和保障,也是引导和促进先进加工工艺、高端仪器计量技术持续创新的基础与牵引力。反之,如果基准标准技术发展滞后,将严重制约整个精密制造与装备制造业的进步水平与竞争力。
尤其是,在过去的10年中超精加工技术的提高使得工业界可以制造以前难以想象的微小和形状复杂的工件,表面粗糙度正在达到原子级尺度,并可由像原子力显微镜等这样复杂的显微镜来进行测量。但是相应的标准还没有制定,需要制定新的纳米尺度上表面粗糙度和公差测量标准作为新的纳米测量基础。
与此对应,研究对应芯片、掩模板测量中的线条宽度、间距、台阶高度、表面粗糙度、膜厚等被测量的校对样板,并对这些样板进行标定和比对,对于保证这些几何参数量值的统一和溯源具有十分重要的意义。多传感器测量及测量信息融合技术是现代测量计量技术出现的新特点。
现代复杂机电系统涉及信息多,测量信息量大,传感器数量较多,多源巨量信息分析评估困难,需借助数据融合理论进行处理。多传感器测量应用中的数据融合技术正逐渐成为提升测量系统性能的关键技术之一。
在未来的测试计量及仪器技术的发展中,针对上述问题和发展趋势,着力加大科研投入,重视基础研究,紧密联系工程应用,相信在不久的将来我国测试计量技术及相关领域定可获得快速的发展,为我国科学技术和国民经济的发展发挥更大的作用。



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